六軸并聯(lián)定位臺(tái),納米/微米定位臺(tái),壓電陶瓷/壓電促動(dòng)器,壓電偏擺鏡,壓電控制器,直線電機(jī)/直線促動(dòng)器,電容位置傳感器
六軸并聯(lián)定位臺(tái)
六自由度高精度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)
無軸間運(yùn)動(dòng)串?dāng)_和誤差累計(jì)
低運(yùn)動(dòng)慣量,高結(jié)構(gòu)剛度
可自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心
特殊設(shè)計(jì)可承受1000公斤以上負(fù)載 |
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納米定位臺(tái)
從1軸到6軸運(yùn)動(dòng)
并聯(lián)運(yùn)動(dòng)和并聯(lián)測(cè)量技術(shù)
保持記錄的高絕對(duì)精度與重復(fù)精度
可選電容傳感器高可達(dá)0.02nm閉環(huán)分辨率
定制型號(hào)可選擇銦鋼、鈦等不同材料 |
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微米定位臺(tái)
從1軸到6軸的直線與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
直線電機(jī)/陶瓷電機(jī)/步進(jìn)/直流伺服
獨(dú)有的大行程納米定位技術(shù)
力矩電機(jī)+氣浮軸承超高精度轉(zhuǎn)臺(tái)
直線臺(tái)/升降臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)/搖擺臺(tái)/多軸臺(tái) |
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壓電陶瓷/壓電促動(dòng)器
壓電陶瓷技術(shù),高可靠性,長壽命
亞納米級(jí)位移分辨率,微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
輸出力高可達(dá)50000N
無機(jī)械空回,無靜摩擦和滑動(dòng)摩擦
不受磁場(chǎng)干擾,提供真空、低溫兼容產(chǎn)品 |
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壓電偏擺鏡
1維至2維超快可控偏擺運(yùn)動(dòng)
光學(xué)偏擺范圍大可達(dá)120mrad
超快響應(yīng)時(shí)間,超高角度定位精度
大量用于光學(xué)追蹤、掃描、穩(wěn)像等應(yīng)用
可根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行定制 |
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直線電機(jī)/直線促動(dòng)器
壓電陶瓷電機(jī)/直線電機(jī)/步進(jìn)/直流伺服
PiezoWalk技術(shù)提供毫米級(jí)運(yùn)動(dòng)行程和亞納米級(jí)分辨率,大推力,可自鎖
PiezoWalk系列超小尺寸高速運(yùn)動(dòng)
可根據(jù)不同推力、行程、速度和精度要求進(jìn)行定制 |
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壓電控制器
單系統(tǒng)1軸到6軸,以及多軸串接
模擬和數(shù)字多種內(nèi)部結(jié)構(gòu)可選
RS232,USB,TCP/IP等多種計(jì)算機(jī)接口
先進(jìn)的低噪聲驅(qū)動(dòng)和高級(jí)控制算法
提供控制界面和二次開發(fā)包,支持LabView, C++, VC, VB, Delphi, Matlab等 |
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微米定位系統(tǒng)控制器
單通道及多通道系統(tǒng)
微步控制/混合控制/實(shí)時(shí)差補(bǔ)/并行控制
RS232,USB,TCP/IP,CAN等多種接口
多通道系統(tǒng)多種控制網(wǎng)絡(luò)方式可選
提供控制界面和二次開發(fā)包,支持LabView, C++, VC, VB, Delphi, Matlab等 |
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電容位置傳感器
位置、運(yùn)動(dòng)、振動(dòng)的非接觸測(cè)量
量程從10微米到1000微米
皮米級(jí)位移分辨率,10KHz的帶寬
耐高溫,長時(shí)間穩(wěn)定性(<0.1nm/3h)
無磁及真空環(huán)境兼容 |
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